图片来源于网络，如有侵权，请联系删除
证券之星消息，根据天眼查APP数据显示芯�微装（688630）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种可垂直调节的双面曝光平台及激光直写曝光设备”，专利申请号为CN202420453547.6，授权日为2025年6月13日。
专利摘要：本实用新型公开了一种可垂直调节的双面曝光平台及激光直写曝光设备，该双面曝光平台包括：支撑底座；设置在支撑底座上的垂直调节组件，该垂直调节组件包括移动件；曝光组件，该曝光组件包括设置在移动件上的曝光件安装板，该曝光件安装板能够跟随移动件做垂直方向的移动。本实用新型设置上曝光件和下曝光件实现对基板的双面曝光，通过上曝光件根据基板外层标记点对其进行定位，以及上、下曝光件水平方向的位置保持不变，使得基板的对准精度仅受限于曝光系统识别精度影响，其次本实用新型设置垂直调节机构来调节上曝光件与基板外层的距离，使得该曝光平台能够适应不同厚度的基板，扩大了安装有该曝光平台的激光直写曝光设备的适用范围。
图片来源于网络，如有侵权，请联系删除
今年以来芯�微装新获得专利授权20个，较去年同期增加了42.86%。结合公司2024年年报财务数据，2024年公司在研发方面投入了9769.71万元，同比增3.34%。
数据来源：天眼查APP
以上内容为证券之星据公开信息整理，由AI算法生成（网信算备310104345710301240019号），不构成投资建议。
